[发明专利]带回收功能的高精度氮氦混合装置有效

专利信息
申请号: 201610519268.5 申请日: 2016-07-01
公开(公告)号: CN105903365B 公开(公告)日: 2018-08-31
发明(设计)人: 林琦武;马玉炳;丁鹏;麻晓毅;杨丰源 申请(专利权)人: 广州新龙浩工业设备有限公司
主分类号: B01F5/00 分类号: B01F5/00;B01F15/00;B01F15/04;B01F3/02
代理公司: 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 代理人: 吴静芝
地址: 511434 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了带回收功能的高精度氮氦混合装置,包括混合器,所述混合器的输入端分别接有氦气输气管和氮气输气管,所述氮气输气管和所述氦气输气管的输出端均设有电磁阀;所述混合器的输出端与一缓冲罐的输入端连接,所述缓冲罐的输出端经过一空气压缩机后接入至一高压罐的输入端;所述高压罐的输出管道中设有一阀门,所述高压罐的输出管道外接有一回收管道,所述回收管道分别连接至所述缓冲罐和一混氦回收罐。本发明通过不同的检测部件对输气管内的混合气体浓度进行监察,并且通过电子控制单元对不同阀体的控制来调节气体的混合精度,加上设置的回收管道,可以避免浪费气体,自动化程度高,效率大大提升。
搜索关键词: 回收 功能 高精度 混合 装置
【主权项】:
1.带回收功能的高精度氮氦混合装置,其特征在于:包括混合器,所述混合器的输入端分别接有氦气输气管和氮气输气管,所述氮气输气管和所述氦气输气管的输出端均设有电磁阀;所述混合器的输出端与一缓冲罐的输入端连接,所述缓冲罐的输出端经过一空气压缩机后接入至一高压罐的输入端;所述高压罐的输出管道中设有一阀门,所述高压罐的输出管道外接有一回收管道,所述回收管道连接至所述缓冲罐。
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