[发明专利]烘烤装置及其排气方法有效
申请号: | 201610519801.8 | 申请日: | 2016-07-04 |
公开(公告)号: | CN106154601B | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 刘开欣 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种烘烤装置及其排气方法,该烘烤装置包括烤箱、与所述烤箱连通的主排气装置、及设于烤箱的周面上靠近上表面的副排气组件,其中,所述副排气组件为排气窗,包括:围绕所述烤箱的周面依次排列的多个排气口,在每一个排气口上均设有紧贴所述排气口一侧表面的可沿所述排气口一侧表面进行升降的挡帘,通过控制所述挡帘的升降可控制各个排气口的开口大小,能够使烤箱内部的气流流动更加自由平稳,提升烘烤制程质量和烘烤装置对不同产品的适应性。 | ||
搜索关键词: | 烘烤 装置 及其 排气 方法 | ||
【主权项】:
1.一种烘烤装置,所述烘烤装置用于平面显示装置的制作过程中对元件进行烘烤的制程,其特征在于,包括:烤箱(1)、与所述烤箱(1)连通的主排气组件(3)、及设于烤箱(1)的周面上靠近上表面的副排气组件(2);所述副排气组件(2)为排气窗,包括:围绕所述烤箱(1)的周面依次排列的多个排气口(21);每一个排气口(21)上均设有紧贴所述排气口(21)一侧表面的挡帘(22),通过控制各个排气口的被挡帘(22)遮挡的大小来调整各个排气口(21)的开口大小。
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