[发明专利]一种半导体生产线闭环调度控制方法

摘要

本发明涉及一种半导体生产线闭环调度控制方法，包括：调度模型库获取步骤：根据生产线历史数据离线建立调度模型库；共生仿真系统建立步骤；调度方案生成步骤，根据调度目标从调度模型库中选取相应的调度模型，生成相应的调度方案，并将该调度方案同时应用于半导体实际生产线和仿真模型，运行共生仿真系统；在线闭环调度步骤，以设定采样周期对半导体实际生产线和仿真模型的生产性能分别进行采样，根据所采样的生产性能判断当前采样时刻是否为动态调度时刻，若是，则执行调度方案生成步骤，若否，则继续对下一采样时刻进行判定。与现有技术相比，本发明具有有效减少调度决策时间、确保生产性能稳定和提高调度有效性等优点。

主权项

1.一种半导体生产线闭环调度控制方法，其特征在于，包括：调度模型库获取步骤：根据生产线历史数据离线建立由多个不同调度目标下的调度模型组成的调度模型库，每个调度模型表征某个调度目标下生产线状态与调度方案间关系；共生仿真系统建立步骤，建立半导体实际生产线的仿真模型，将所述仿真模型与半导体实际生产线组成共生仿真系统，所述仿真模型为根据半导体实际生产线建立的、无扰动的理想生产线；调度方案生成步骤，根据调度目标从调度模型库中选取相应的调度模型，以半导体实际生产线的当前状态数据作为所述调度模型的输入，生成相应的调度方案，并将该调度方案同时应用于共生仿真系统中的半导体实际生产线和仿真模型，运行共生仿真系统；在线闭环调度步骤，以设定采样周期对共生仿真系统中的半导体实际生产线和仿真模型的生产性能分别进行采样，根据所采样的生产性能判断当前采样时刻是否为动态调度时刻，若是，则执行调度方案生成步骤，若否，则继续对下一采样时刻进行判定；所述在线闭环调度步骤具体为：1)在每个采样时刻记录共生仿真系统的生产性能P，半导体实际生产线和仿真模型的生产性能分别记为实际性能Pa和仿真性能Ps；2)计算采样时刻的实际性能Pa和仿真性能Ps间的指标偏差率，根据指标偏差率和调度方案更新判定准则判断所对应的采样时刻是否为动态调度时刻，若是，则执行步骤3)，若否，则执行步骤4)；3)执行调度方案生成步骤后执行步骤1)；4)保持调度方案不变，继续对下一采样时刻进行判定，返回步骤2)。