[发明专利]耐磨涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201610522067.0 | 申请日： | 2016-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN106191790A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 赵升升;梅海娟;程毓 | 申请（专利权）人： | 深圳职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 王小青 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种耐磨涂层的制备方法，用于在基片表面制备硬质涂层，所述方法包括以下步骤：选用预定的尺寸和性能的基片；对基片的待沉积表面进行清洗干燥；在电弧离子镀膜设备的真空室内对基片的待沉积表面进行溅射清洗；向真空室内供入惰性气体和N2，采用电弧离子镀技术在基片的表面上沉积氮化物硬质涂层，在沉积过程中，梯度增加或者循环梯度增加N2的流量，以便调整硬质涂层内的残余应力；对基片上的硬质涂层进行真空退火，最终获得大厚度的耐磨涂层。通过梯度增加或循环增加N2流量，有效降低了大厚度涂层的残余应力；涂层具有更好的抗划痕能力和断裂韧性。 | ||
| 搜索关键词： | 耐磨 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种耐磨涂层的制备方法，用于在基片表面制备硬质涂层，其特征在于，所述方法包括以下步骤：S101、选用预定的尺寸和性能的基片；S102、对基片的待沉积表面进行清洗干燥；S103、在电弧离子镀膜设备的真空室内对基片的待沉积表面进行溅射清洗；S104、向真空室内供入惰性气体和N2，采用电弧离子镀技术在基片的表面上沉积氮化物硬质涂层，在沉积过程中，梯度增加或者循环梯度增加N2的流量，以便调整硬质涂层内的残余应力；S105、对基片上的硬质涂层进行真空退火，最终获得大厚度的耐磨涂层。
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