[发明专利]一种玉石表面化学机械平整化加工方法在审
申请号: | 201610522733.0 | 申请日: | 2016-06-30 |
公开(公告)号: | CN106181649A | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 顾继玲 | 申请(专利权)人: | 天津市兰依科技股份有限公司 |
主分类号: | B24B7/22 | 分类号: | B24B7/22;B24B37/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市北辰区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明属于加工领域,尤其涉及本发明属于一种玉石表面化学机械平整化加工方法,其包括以下步骤:粘片,粗磨,细磨,粗抛,精抛。本发明所述的一种玉石表面化学机械平整化加工方法,使玉石在切割时表面平整度得到加强,降低了加工成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 玉石 表面 化学 机械 平整 加工 方法 | ||
【主权项】:
本发明属于一种玉石表面化学机械平整化加工方法,其特征在于:包括以下步骤:A.粘片 将玉石片长有器件的一面用粘片设备粘在玻璃片上;B.粗磨 利用粗磨机将玉石衬底的厚度减薄至150μm左右,粗糙度为2.0μm左右;C.细磨 用细磨机将玉石衬底的厚度减薄至90~100μm,粗糙度为0.5μm左右,厚度均匀度在2.0μm以内;D.粗抛 用粗抛机和粗抛液对玉石衬底进行抛光,粗糙度0.1μm,厚度均匀度1.0μm以内;E.精抛 用精抛机和精抛液对玉石衬底进行抛光,使粗糙度到20μm以下。
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