[发明专利]一种基于倏逝波谐振的多孔硅‑硅‑多孔硅气体传感器在审
| 申请号： | 201610527961.7 | 申请日： | 2016-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN106226268A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 陈颖;罗佩;朱奇光;田亚宁;赵志勇;刘晓飞 | 申请（专利权）人： | 燕山大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 秦皇岛一诚知识产权事务所(普通合伙)13116 | 代理人： | 李合印 |
| 地址： | 066004 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于倏逝波谐振的多孔硅‑硅‑多孔硅气体传感器，包括由多孔硅‑硅‑多孔硅组成的结构，以及在该结构两端进行耦合的硅棱镜，所述多孔硅‑硅‑多孔硅组成的结构通过脉冲电化学腐蚀方法制备，其中硅的折射率nSi＝3.5，光源以一定入射角度θ从硅棱镜工作表面入射，在硅棱镜与多孔硅层界面处发生全反射并产生倏逝波，若倏逝波的穿透深度大于多孔硅层厚度，则倏逝波在中间硅层内发生全反射形成谐振腔并产生谐振峰，当气体进入多孔硅中，使其折射率改变，从而产生谐振峰漂移来测量气体浓度。该传感器具有结构简单、高Q值和高灵敏特性，可对低浓度气体进行精确、快速的测量，在低浓度气体的检测应用中具有较高的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 倏逝波 谐振 多孔 气体 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于倏逝波谐振的多孔硅‑硅‑多孔硅气体传感器，其特征在于，包括由多孔硅‑硅‑多孔硅组成的结构，以及在该结构两端进行耦合的硅棱镜，所述多孔硅‑硅‑多孔硅组成的结构通过脉冲电化学腐蚀方法制备，其中硅的折射率nSi＝3.5，光源以一定入射角度θ从硅棱镜工作表面入射，在硅棱镜与多孔硅层界面处发生全反射并产生倏逝波，若倏逝波的穿透深度大于多孔硅层厚度，则倏逝波在中间硅层内发生全反射形成谐振腔并产生谐振峰，当气体进入多孔硅中，使其折射率改变，从而产生谐振峰漂移来测量气体浓度。
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