[发明专利]一种用于柔性低压驱动有机薄膜晶体管的高介电栅介质材料及其制备方法与应用

摘要

本发明涉及用于柔性低压驱动有机薄膜晶体管的高介电栅介质材料及其制备方法，包括以下步骤：1)制备氧化镧前驱体溶液；2)制备氧化镧介电层薄膜：将步骤1)制得的氧化镧前驱体溶液过滤后，在衬底上旋涂氧化镧前驱体溶液，得到氧化镧前驱体薄膜；3)将步骤2)得到的样品依次进行预退火处理、热处理和臭氧活化处理后，得到氧化镧介电层，即得到高介电栅介质材料。本发明所述的高介电栅介质材料氧化镧介电层具有高介电常数以及宽能带，能有效地降低器件所需的工作电压；且其采用溶液法制备，能够在低温下生成致密性的薄膜，工艺简单，成本较低。本发明还提供一种采用所述高介电栅介质材料作为介电层的柔性低压驱动有机薄膜晶体管及其制备方法。

主权项

1.一种柔性低压驱动有机薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)在清洗干净的衬底上沉积底栅电极；2)将氧化镧前驱体溶液通过0.20～0.25μm的滤嘴过滤后，在步骤1)得到的样品上旋涂氧化镧前驱体溶液，得到氧化镧前驱体薄膜，然后依次进行预退火处理、热处理和臭氧活化处理后，制得氧化镧介电层；3)制备PαMS界面修饰层：在步骤2)得到的样品上旋涂质量分数为0.1％～0.3％的PαMS的甲苯溶液，再经过热处理得到PαMS薄膜；4)制备并五苯有源层：采用热蒸发法在PαMS薄膜上沉积并五苯有源层；5)在步骤4)得到的样品上沉积源漏电极，得到柔性低压驱动有机薄膜晶体管。