[发明专利]一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置及方法

摘要

一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置及方法，属于热丝化学气相沉积技术领域。圆柱形腔体的上侧顶角部位沿45度角焊接进气挡板，进气挡板与腔室顶角部形成一个密闭的进气室，气挡板分布有进气孔，进气室连接进气口，圆柱形腔体的真空腔室内的底部连接电极柱、抽气室，抽气室连接升降主轴和抽气口，升降主轴连接基片台，电极柱连接热丝，抽气室有抽气室壁，抽气室与升降主轴之间有间缝隙。本发明可以解决热丝化学气相沉积设备沉积腔室中反应气体分布不均匀的问题，同时也不易产生粉尘、颗粒掉落到沉积基体表面。

主权项

1.一种热丝化学气相沉积炉进出气气路装置，其特征在于圆柱形腔体的上侧顶角部位沿45度角焊接进气挡板，进气挡板与腔室顶角部形成一个密闭的进气室，进气挡板分布有进气孔，进气室连接进气口，圆柱形腔体的真空腔室内的底部连接电极柱、抽气室，抽气室连接升降主轴和抽气口，升降主轴连接基片台，电极柱连接热丝，抽气室有抽气室壁，抽气室与升降主轴之间有间缝隙，位于热丝侧上方的进气室与双层水冷腔室是焊接连接；进气挡板上沿中间水平方向均匀地钻几十个小孔作为进气孔；进气孔包括第一进气孔和第二进气孔；在沉积腔室底部，电极柱和升降主轴之间焊接一个金属罩作为抽气室壁，在抽气室壁下面的沉积腔室底部上开口作为抽气口，抽气室壁与沉积腔室底部形成抽气室，抽气室与升降主轴的间缝隙就成为了一个均匀出气的抽气通道;外部气体首先通过进气口进入腔室上部的进气室，缓冲后通过几十个进气孔流动到热丝上方，最后从间缝隙进入抽气室，缓冲后从抽气口被抽到沉积腔室外。