[发明专利]激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室在审
| 申请号： | 201610528467.2 | 申请日： | 2016-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN106211531A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 赵永蓬;徐强;王骐 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室，涉及毛细管放电EUV光源技术，为了解决现有装置无法实现在真空的状态下拖动Sn靶的问题。Sn靶的拖动装置采用磁力拖动结构实现，磁力拖动结构包括电机、磁性圆盘和圆形支架，Sn靶设置在圆形支架上，圆形支架上设置有磁铁，磁性圆盘固定在电机的转轴上，电机的转轴的轴线与磁性圆盘的轴线重合，磁性圆盘与圆形支架平行，电机和磁性圆盘位于放电真空室的外部，圆形支架位于放电真空室的内部。本发明的结构简单，控制精确，适用于锡介质极紫外光源系统。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 辅助 介质 ldp 通过 磁力 拖动 电极 放电 真空 | ||
【主权项】：
激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室，其特征在于，Sn靶的拖动装置采用磁力拖动结构实现，磁力拖动结构包括电机、磁性圆盘和圆形支架，Sn靶设置在圆形支架上，圆形支架上设置有磁铁，磁性圆盘固定在电机的转轴上，电机的转轴的轴线与磁性圆盘的轴线重合，磁性圆盘与圆形支架平行，电机和磁性圆盘位于放电真空室的外部，圆形支架位于放电真空室的内部。
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