[发明专利]一种基于石墨烯的场效应晶体管生物传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201610529052.7 | 申请日： | 2016-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN106226377A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 林本慧 | 申请（专利权）人： | 无锡盈芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214177 江苏省无锡市惠山经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于石墨烯的场效应晶体管生物传感器，所述生物传感器包括衬底，衬底上设有沟道层，所述沟道层上设有功能化石墨烯层，所述功能化石墨烯层的两端设有源电极和漏电极，所述功能化石墨烯层中间部分表面固定连接生物识别分子，其制备方法包括如下：(1)以金属箔为基底，生长石墨烯薄膜，将石墨烯薄膜转移至衬底上，作为沟道层；(2)再在沟道层上形成一层石墨烯层，通过脉冲等离子法形成活性基团功能化石墨烯层；(3)通过光刻和蒸镀工艺，在功能化石墨烯层的两端形成源电极和漏电极；在功能化石墨烯层中间部分的表面固定连接生物识别分子，得到基于石墨烯的场效应晶体管生物传感器。所述生物传感器具有高检测灵敏度和检测速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 场效应 晶体管 生物 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于石墨烯的场效应晶体管生物传感器的制备方法，其特征在于，所述生物传感器包括衬底，衬底上设有沟道层，所述沟道层上设有功能化石墨烯层，所述功能化石墨烯层的两端设有源电极和漏电极，所述功能化石墨烯层中间部分表面固定连接生物识别分子，其制备方法包括如下：(1)以金属箔为基底，生长双层石墨烯薄膜，将双层石墨烯薄膜转移至衬底上，作为沟道层；(2)再在沟道层上形成一层石墨烯层，通过脉冲等离子法形成活性基团功能化石墨烯层；(3)通过光刻和蒸镀工艺，在功能化石墨烯层的两端形成源电极和漏电极；(4)在功能化石墨烯层中间部分的表面固定连接生物识别分子，得到基于石墨烯的场效应晶体管生物传感器。
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