[发明专利]调整平面元件表面与运动平面平行的方法

摘要

一种调整平面元件表面与运动平面平行的方法，该方法基于平面元件反射光的指向调整平面元件表面与运动平面的平行，包括调整水平及竖直方向上的平行两个方面。对于平面元件表面平行于运动平面的情况，平面元件移动后，激光入射到平面元件表面的反射光指向不变；而对于平面元件表面不平行于运动平面的情况，平面元件移动后，探测激光入射到平面元件表面的反射光指向发生变化，移动距离越远，反射光指向偏离越大。该方法简单易行，可有效实现平面元件表面和运动平面的平行。

主权项

一种调整平面元件表面与运动平面平行的方法，其特征在于，该方法采用的原理包括：基于平面元件反射光的指向调整平面元件表面与运动平面的平行，包括调整水平方向及竖直方向两个方面；该方法所用仪器包括：He‑Ne激光器、二维光学调整镜架、二维步进电机、光束质量分析仪和计算机，其中，平面元件装夹于二维光学调整镜架上，二维光学调整镜架固定于二维步进电机上，He‑Ne激光器输出激光，激光入射到平面元件；光束质量分析仪垂直于平面元件的反射光放置，并与计算机相连；所述二维光学调整架通过调节平面元件的方位和俯仰来改变反射光的指向，所述二维步进电机实现对平面元件水平和垂直方向的移动；该方法包括如下步骤：1)通过二维步进电机水平移动平面元件，使得He‑Ne激光器输出的激光入射到平面元件的左端；2)计算机通过光束质量分析仪实时监控平面元件反射光的指向，调整光束质量分析仪的位置，使得反射光指向光束质量分析仪的探测中心；3)通过二维步进电机水平移动平面元件，使得He‑Ne激光器输出的激光入射到平面元件的右端；4)计算机通过光束质量分析仪实时监控平面元件反射光的指向，调整二维调整镜架的偏转，使得反射光指向偏转至光束质量分析的探测中心；5)重复步骤①~④，直至He‑Ne激光器输出的激光在平面元件左右两端的反射光均指向光束质量的探测中心；6)通过二维步进电机垂直移动平面元件，使得He‑Ne激光器输出的激光入射到平面元件的下端；7)计算机通过光束质量分析仪实时监控平面元件反射光的指向，调整光束质量分析仪的位置，使得反射光指向光束质量分析仪的探测中心；8)通过二维步进电机垂直移动平面元件，使得He‑Ne激光器输出的激光入射到平面元件的上端；9)计算机通过光束质量分析仪实时监控平面元件反射光的指向，调整二维调整镜架的俯仰，使得反射光指向俯仰至光束质量分析的探测中心；10)重复步骤⑥~⑨，直至He‑Ne激光器输出的激光在所述平面元件上下两端的反射光均指向所述光束质量的探测中心。