[发明专利]基于GPU的掩膜版和晶圆缺陷检测方法

摘要

本发明涉及一种基于GPU的掩膜版和晶圆缺陷检测方法，包括：提供一掩膜版以及对应的标准设计图；通过计算机把检测图数据和标准图数据输入到GPU中；两类图像数据进行绝对差运算；根据缺陷分辨率，划分GPU网格；每个对应的网格计算自己管辖的数据，超出阈值的置缺陷标识，没有超过阈值的，则访问该位置对应的模板领域数据，看是否都为空，如果是则认为是多余数据，标识为缺陷；等所有的网格计算完毕后，所有的缺陷都可以标识出来。本发明不仅能够提高缺陷检测的效率，有效减低误检，漏检率，并有效地提高掩膜和晶圆的良品率；而且还支持划痕、颗粒与关键尺寸的缺陷率分离，划痕和颗粒可以支持的更小。

主权项

1.一种基于GPU的掩膜版和晶圆缺陷检测方法，其特征在于包括以下步骤：1)提供已经经过二值化的检测图和标准图；2)通过计算机把检测图以及标准图的图像数据输入到GPU中；3)在GPU中对两类图像数据进行绝对差运算；4)根据缺陷分辨率，对GPU进行网栅划分；GPU每个核心负责处理自己网格的图像数据；5)根据设定的缺陷阈值进行运算以及缺陷判断；6)每个网格设置的缺陷点合成缺陷位置图，然后回传计算机继续运算，把缺陷坐标位置、类型标识到检测原始图中；所述的步骤1)中，检测图先做阈值分割然后再进行二值化；标准图由GDS转换而来并完成对矢量点的渲染形成二值化图；所述的步骤4)中，对GPU进行网栅划分的方法是：把待检测二值化图和标准图都划分成m行n列，且每个网栅大小都是等同的，GPU的每个核心负责处理自己网格的图像数据，划分后的每个网格，网格大小就是缺陷的分辨率，缺陷分辨率越大，网格也越大；所述的步骤5)中，根据设定的缺陷阈值进行运算，若超过阈值，则标识为缺陷；若没有超过阈值，则进行模板八邻域网栅数据处理；所述的模板八邻域网栅数据处理为：将没有超过阈值的网栅的位置映射到标准图的位置，然后访问标准图对应位置的八邻域网栅数据，进行数据计算并进行判断是否都为空；若是，则认为是多余数据，将其标识为缺陷。