[发明专利]一种六晶片晶控装置有效
| 申请号： | 201610531104.4 | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN105925951B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 王伟;卢成 | 申请（专利权）人： | 成都国泰真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 成都科奥专利事务所(普通合伙) 51101 | 代理人： | 陈克贤 |
| 地址： | 610000 四川省成都市温江*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种六晶片晶控装置，包括外壳、转轴、气缸、联轴器和探头组件，外壳为管状，外壳顶部固定有上盖，转轴位于外壳内且转轴顶部穿过上盖，气缸的缸体通过支架固定在上盖顶部，其活塞杆通过联轴器与转轴连接，包括6组晶片的探头组件固定在转轴的底部。本发明将分散的晶控装置的部件集成在一起，并且配有6组晶片，晶片安装架与转轴连接，转轴带动晶片安装架转动，实现自动切换晶片的目的，同时，气缸内部安装的6组限位开关能够精确控制晶片的旋转角度，本发明减少了更换晶片的次数，提高了生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 装置 | ||
【主权项】：
1.一种六晶片晶控装置，其特征在于：包括外壳、转轴、气缸、联轴器和探头组件，外壳为管状，外壳顶部固定有上盖，转轴位于外壳内且转轴顶部穿过上盖，气缸的缸体通过支架固定在上盖顶部，其活塞杆通过联轴器与转轴连接，包括6组晶片的探头组件固定在转轴的底部，所述探头组件包括冷却座、晶片安装架、探头和滑动轴承，探头组件位于外壳内部且安装在外壳底部，转轴穿过冷却座与晶片安装架通过插销固定，探头安装在晶片安装架上方，且探头与晶片安装架相接触。
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