[发明专利]一种基于声学扫描的闪存塑封器件缺陷判定方法

摘要

一种基于声学扫描的塑封器件缺陷判定方法，它有七大步骤：一、对器件进行逐层C扫描；二、判断每一层的C扫描图像是否存在明亮区域；三、判断每一层的C扫描图像是否存在黑色线段；四、换能器聚焦在引线框架上进行C扫描；五、判断C扫描图像中是否存在明亮区域；六、判断C扫描图像中是否存在黑色海岸线；七、翻转器件，使器件底部朝上，重复步骤四至步骤六；该发明将塑封器件的声学扫描检测分为两部分，分别为塑封体检测与重要界面检测。不仅提供了检测的项目，还提供了空洞、裂纹、界面分层缺陷的判定方法。该发明可以提高声学扫描检测的效率，对闪存塑封器件的声学扫描检测具有一定的指导意义。

主权项

1.一种基于声学扫描的闪存塑封器件缺陷判定方法，其特征在于：该方法具体步骤如下：步骤一：逐层C扫描；逐层C扫描是为了检查塑封体部分是否存在裂纹及空洞缺陷，因为界面分层只出现在器件内部不同部分的交界处，所以塑封体内部不可能出现界面分层；步骤二：判断每一层的C扫描图像是否存在明亮区域；这一步骤是为了检测闪存器件的塑封体内的空洞缺陷；由于空气的声阻为零，所以当声波遇到空气界面会全反射，反映在声学图像上即为明亮区域；若在某一层的C扫描图像上出现明亮区域，应用A扫描模式对明亮区域进行扫描，若明亮区域比黑暗区域多一个波形，则该明亮区域为空洞缺陷；且空洞缺陷会损失掉大部分的声波能量，A扫描波形显示对空洞深度位置后面的回波能量小；步骤三：判断每一层的C扫描图像是否存在黑色线段；这一步骤是为了检测闪存器件的塑封体内的裂纹缺陷；由于声波会在裂纹内多次反射，所以裂纹部分的反射波的能量较弱，在C扫描图像上就反应为黑色的线段；裂纹缺陷并不能改变裂缝两侧的结构，所以在发现黑色线段之后应进行A扫描，观察黑线两侧的波形，若两侧波形一致，则为裂纹缺陷；步骤四：换能器聚焦在引线框架上进行C扫描；当换能器聚焦在引线框架上时，由于换能器存在景深，器件本身的厚度小，就能清晰的观察到GJB4027A中规定的三个顶视图界面的情况；步骤五：判断C扫描图像中是否存在明亮区域；这一步骤是为了检测闪存塑封器件内部结构的界面分层；由于空气的声阻为0，声波在传播到空气界面时几乎为全反射，不存在折射；所以在C扫描检查空洞及界面分层时，存在空气的区域较为明亮；用A扫描模式扫描明亮区域和对应的正常位置，若波形出现反向，则该明亮区域为界面分层缺陷；若明亮区域未出现波形反相，则该位置并未出现界面分层缺陷，如果明亮区域的A扫描图像比正常位置的图像多一个波形，则该明亮区域位置为空洞缺陷；步骤六：判断C扫描图像中是否存在黑色海岸线；这一步骤是判断界面分层缺陷和裂纹缺陷；裂纹缺陷是指器件内部出现细小的裂缝，而这些细小的裂缝并不能改变裂缝两侧的结构，所以用A扫描观察裂纹两侧的波形一致；界面分层与裂纹不同，C扫描图像中的黑线为界面分层的边界线，由于界面产生分层，分层的中间有可能是空气也有可能是其他杂质，所以边界线两侧的结构不同，用A扫描黑线两侧波形，两侧的波形一般会出现反相；步骤七：翻转器件，使器件底部朝上，重复步骤四至步骤六；由于换能器存在景深，器件本身的厚度小，对焦在引线框架上就能观察到GJB4027A中规定的两个底视图的界面；之后重复步骤五和步骤六判定器件的引线引出端焊板与模塑化合物的界面和引线架与模塑化合物的界面是否存在缺陷；通过以上步骤，就能利用声学扫描显微镜检测出闪存塑封器件塑封体中的空洞和裂纹缺陷以及重要界面处的裂纹和界面分层缺陷；为进行声扫检测的工作人员提供声扫检测的操作流程规范，对GJB4027A中规定的检测重要界面的方法进行优化，简化声学扫描检测的工作量，提高声学扫描检测的效率。