[发明专利]PZT非晶态合金电镀液及利用其的PZT非晶态合金电镀方法

摘要

本发明涉及机械物性优秀且可对PZT非晶态合金膜进行电镀的PZT非晶态合金电镀液及利用其的PZT非晶态合金电镀方法，上述PZT非晶态合金膜的结晶性低，或者具有非晶质(Amorphous)结构，因此导电率得到提高，并具有优秀的导电性或化学稳定性，从而呈现优秀的电特性。并且，在上述电镀液内还包含根据氧化或还原的形态颜色变化明显的还原剂的情况下，上述电镀工序时所消耗的铅、锆及钛达到规定的浓度以下时，改变上述电镀液的颜色，实时通过电镀液的颜色变化，可判断是否补充电镀金属，因此不仅可以提高电镀工作的精密度和可靠性来减少电镀层的质量偏差，而且可减少上述电镀金属的浓度降低导致的电镀速度偏差，从而可提高生产效率。

主权项

1.一种PZT非晶态合金电镀液，其特征在于，包含铅前驱体、锆前驱体、钛前驱体及还原剂，相对于上述铅前驱体100重量份，包含锆前驱体10～50重量份、钛前驱体5～30重量份，上述还原剂包含以下式(1)的苯酚类化合物，上述铅前驱体、锆前驱体及钛前驱体分别为氢氧化铅、氢氧化锆、氢氧化钛，上述氢氧化铅、氢氧化锆、氢氧化钛各自包含的水分的含量为70～85wt％，上述式1中，R1～R3表示氢原子、羟基、羧基及直链或支链上的碳原子数为1至4的烷基。