[发明专利]一种DRAM晶圆测试中精确捕获失效地址的方法在审
申请号: | 201610532504.7 | 申请日: | 2016-07-06 |
公开(公告)号: | CN106169311A | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 王帆;黄华 | 申请(专利权)人: | 西安紫光国芯半导体有限公司 |
主分类号: | G11C29/18 | 分类号: | G11C29/18 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 李宏德 |
地址: | 710075 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明一种DRAM晶圆测试中精确捕获失效地址的方法,包括如下步骤,步骤1,针对DRAM晶圆测试流程中的任意功能测试项,给每个功能测试项分配一个变量,变量与功能测试项一一对应;步骤2,根据测试需求,对变量在晶圆测试开始后一次性赋值,控制是否捕获对应测试项的失效地址;步骤3,在执行功能测试项并通过地址失效寄存器AFM记录对应的失效地址后,根据当前测试项以及当前测试项的前一个测试项的变量赋值状况,控制是否读取地址失效寄存器AFM中的累积失效信息,并生成临时文件;步骤4,通过对生成的临时文件之间失效地址信息的比对,剔除掉重复的信息,最终生成当前测试项的失效地址文件。 | ||
搜索关键词: | 一种 dram 测试 精确 捕获 失效 地址 方法 | ||
【主权项】:
一种DRAM晶圆测试中精确捕获失效地址的方法,其特征在于,包括如下步骤,步骤1,针对DRAM晶圆测试流程中的任意功能测试项,给每个功能测试项分配一个变量,变量与功能测试项一一对应;步骤2,根据测试需求,对变量在晶圆测试开始后一次性赋值,控制是否捕获对应测试项的失效地址;步骤3,在执行功能测试项并通过地址失效寄存器AFM记录对应的失效地址后,根据当前测试项以及当前测试项的前一个测试项的变量赋值状况,控制是否读取地址失效寄存器AFM中的累积失效信息,并生成临时文件;步骤4,通过对生成的临时文件之间失效地址信息的比对,剔除掉重复的信息,最终生成当前测试项的失效地址文件。
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