[发明专利]一种自动测量厚度的LED芯片光刻机在审
| 申请号： | 201610532935.3 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN105929640A | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 肖和平;孙如剑;郭冠军;王宇;马祥柱 | 申请（专利权）人： | 扬州乾照光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人： | 江平 |
| 地址： | 225009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种自动测量厚度的LED芯片光刻机，属于半导体生产技术领域，具体涉及LED芯片的光刻技术工艺。本发明在现有的预对准找平边区域加装了芯片厚度测量装置，使每个芯片在光刻时都能根据其厚度来及时调整曝光间隙，在此过程中LED芯片的曝光间隙值可以得到精准的控制，以保障不同厚度LED芯片在曝光时间隙GaP值的稳定，从而有效地提升LED芯片光刻的品质。本发明结构简单，方便生产，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 测量 厚度 led 芯片 光刻 | ||
【主权项】：
一种自动测量厚度的LED芯片光刻机，包括水平布置的真空吸附盘，在真空吸附盘的下方连接竖向布置的Z轴，所述Z轴的下端连接Z轴升降装置，在真空吸附盘的上方水平布置掩膜板，在真空吸附盘的外侧分别布置预对准找平边区域、机械手、上片区域和下片区域，其特征在于：在预对准找平边区域设置芯片厚度测量装置，厚度测量装置的信号输出端连接入Z轴升降控制中心，Z轴升降控制中心的一个输出端连接Z轴升降装置的控制端。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于扬州乾照光电有限公司，未经扬州乾照光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610532935.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：侧部件、盒和成像设备
- 下一篇：一种多屏投影设备及方法
