[发明专利]激光加热装置及激光加热系统

摘要

本发明公开了一种激光加热装置，包括：脉冲激光器，旋转夹持组件，半波片，偏振分光镜，激光功率计，聚焦组件，反射镜组；半波片固定在旋转夹持组件上，用于接收脉冲激光器发出的激光脉冲，旋转夹持组件带动半波片旋转以改变激光脉冲的方向，偏振分光镜用于对被上述半波片改变方向后的激光脉冲分成第一激光分量和第二激光分量，聚焦组件用于对第一激光分量进行聚焦；激光功率计用于计量第二激光分量的激光功率，反射镜组用于反射聚焦组件聚焦过来的光束以对准待处理的组合材料芯片样品的一个样品点进行加热。本发明解决了现有激光加热装置对激光功率调节度有限的技术问题，实现了每次逐步定量对组合材料芯片样品的样品点加热。

主权项

1.一种激光加热装置，其特征在于，包括：脉冲激光器，旋转夹持组件，半波片，偏振分光镜，激光功率计，聚焦组件，反射镜组，所述旋转夹持组件包括一级电动旋转夹持器和固定在所述一级电动旋转夹持器上的二级电动旋转夹持器，所述二级电动旋转夹持器的角分辨率大于所述一级电动旋转夹持器的角分辨率，所述二级电动旋转夹持器带动所述一级电动旋转夹持器在竖直平面旋转以改变所述脉冲激光器所发出的激光脉冲的方向；/n所述半波片固定在所述一级电动旋转夹持器上，用于接收所述脉冲激光器发出的激光脉冲，所述一级电动旋转夹持器带动所述半波片旋转以改变所述激光脉冲的方向，所述偏振分光镜用于对被上述半波片改变方向后的激光脉冲分成第一激光分量和第二激光分量，所述聚焦组件用于对所述第一激光分量进行聚焦；所述激光功率计用于计量所述第二激光分量的激光功率，所述反射镜组用于反射所述聚焦组件聚焦过来的光束以对准待处理的组合材料芯片样品的一个样品点进行加热。/n