[发明专利]一种电镀线切割硅片用主导线辊在审
| 申请号： | 201610533913.9 | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN106003445A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 李斌全;何江涛;李小刚;谈继岗 | 申请（专利权）人： | 无锡隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 邵骅 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种电镀线切割硅片用主导线辊，表面包覆有聚氨酯耐磨材料，且刻有与硅片目标厚度对应的同心圆V槽。电镀线往复缠绕在一对主导线辊上，所述一对主导线辊的轴心均与旋转轴的轴心偏离100μm，使得主导线辊旋转时为偏心轮状态，表面跳动值为200μm。一对主导线辊静止状态下的高点方位形成180°。本发明能改善切割废硅屑的排出能力和冷却液的冷却性能，提高金刚砂切削能力，最终提高加工效率，改善硅片表面品质的电镀线切割硅片用主导线辊。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电镀 切割 硅片 主导 | ||
【主权项】：
一种电镀线切割硅片用主导线辊，电镀线往复缠绕在一对主导线辊，其特征在于：所述一对主导线辊中至少有一个的轴心与旋转轴的轴心偏离。
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