[发明专利]磁性复合流体集群式抛光头

摘要

本发明涉及一种磁性复合流体集群式抛光头，包括连接支架、磁铁转轴、载液盘转轴、载液盘转轴底部端盖、带轮机构、V带、载液盘、驱动电机，所述连接支架内装有三个磁铁转轴，每个磁铁转轴设有可调磁铁以及可调磁铁自转的偏心距机构，并连接一个驱动电机，所述连接支架下端通过载液盘转轴底部端盖连接用于携带磁性抛光液旋转的载液盘转轴，载液盘转轴通过V带连接带轮机构，带轮机构连接驱动电机。通过调整三个磁体转轴的转速、调整磁铁转轴携带的磁铁磁性大小、改变磁铁自转的偏心距可以对抛光过程材料的去除率实施有效控制。本发明具有结构紧凑，体积小和质量轻的优点。

主权项

1.一种磁性复合流体集群式抛光头，包括连接支架(3)、磁铁转轴(4)、载液盘转轴(5)、载液盘转轴底部端盖(6)、带轮机构(7)、V带(8)、载液盘(26)、驱动电机，其特征在于：所述连接支架(3)内装有三个磁铁转轴(4)，每个磁铁转轴(4)设有可调磁铁以及可调磁铁自转的偏心距机构，并连接一个驱动电机，通过调节磁体转轴转速、调整磁铁转轴携带的磁铁磁性大小、改变磁铁自转的偏心距来控制抛光过程材料的去除率；所述连接支架(3)下端通过载液盘转轴底部端盖(6)连接用于携带磁性抛光液旋转的载液盘转轴(5)，载液盘转轴(5)通过V带(8)连接带轮机构(7)，带轮机构(7)连接驱动电机。