[发明专利]低温冷阱有效
| 申请号： | 201610535053.2 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN106345137B | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 安田淳一;村山吉信;森本秀敏 | 申请（专利权）人： | 爱发科低温泵株式会社 |
| 主分类号： | B01D8/00 | 分类号： | B01D8/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 齐葵;周艳玲 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的低温冷阱在与作为被脱气空间的腔室连接的箱体内，由机械式冷冻机冷却的低温板被设置为与箱体壁隔开，其中，在所述低温冷阱中设置有冷却分离隔壁，所述冷却分离隔壁与所述低温板的一侧板面相接，并且所述冷却分离隔壁将所述箱体内分离为所述腔室侧的第一空间和所述低温板侧的第二空间。 | ||
| 搜索关键词： | 低温 | ||
【主权项】：
1.一种低温冷阱，在与作为被脱气空间的腔室连接的箱体内，由机械式冷冻机冷却的低温板被设置为与箱体壁隔开，所述低温冷阱的特征在于，在所述低温冷阱中设置有冷却分离隔壁，所述冷却分离隔壁具有与所述低温板的一侧板面紧贴的平板部，并且所述冷却分离隔壁将所述箱体内分离为所述腔室侧的第一空间和所述低温板侧的第二空间，所述平板部中的朝向所述腔室的表面为阱面，在所述平板部连接有从所述平板部的周边延伸并包围所述低温板的周围的筒状部。
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