[发明专利]基于光纤探针的反射式偏振调制近场扫描光学显微镜系统有效
申请号: | 201610536804.2 | 申请日: | 2016-07-08 |
公开(公告)号: | CN107589278B | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 李敬;孟祥敏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | G01Q60/18 | 分类号: | G01Q60/18;G01Q70/16 |
代理公司: | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人: | 付生辉;陈君智 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于光纤探针的反射式偏振调制近场扫描光学显微镜系统,主要包括以下特征:基于保偏光纤、多端口保偏光纤耦合器的组合应用,可以从光纤探针入射光信号,并从该探针获得反射光信号,利用这种近场激发和近场收集的工作模式,实现了针对不透明样品的反射式的扫描近场成像。光弹调制器与锁相放大器联用,实现了对所调制光信号的锁相、放大,将锁相放大器获得到的相位信息输入到系统控制器能够进行偏振调制成像。本发明的优点在于,实现了不透明样品的扫描近场成像和偏振调制成像,提高了成像的信噪比和偏振灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 基于 光纤 探针 反射 偏振 调制 近场 扫描 光学 显微镜 系统 | ||
【主权项】:
基于光纤探针的反射式偏振调制近场扫描光学显微镜系统,其特征在于,该光学显微镜系统包括:光源单元,用于为扫描单元提供稳定的线偏振扫描光源;扫描单元,基于所述线偏振扫描光源激发待扫描样品,并收集待扫描样品的反射光信号;成像单元,用于对近场收集得到的所述反射光信号进行处理,获得待扫描样品图像。
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