[发明专利]导电性高分子组合物、包覆物、及图案形成方法

摘要

本发明的课题在于提供一种导电性高分子组合物，所述导电性高分子组合物在对电子束抗蚀剂进行刻写时的抗静电性能优异，并且抗蚀剂上的涂布性、以及利用H2O和碱性水溶液而产生的剥离性优异，能够适用于电子束光刻。为了解决上述问题，本发明提供一种导电性高分子组合物，其含有：(A)π‑共轭系导电性高分子，其具有由下述通式(1‑1)、通式(1‑2)及通式(1‑3)所示的重复单元中的至少1种；及，(B)掺杂聚合物，其包含由下述通式(2)所示的重复单元a，重均分子量为1000～500000的范围；

主权项

一种导电性高分子组合物，其特征在于，其含有：(A)π‑共轭系导电性高分子，该π‑共轭系导电性高分子具有由下述通式(1‑1)、通式(1‑2)及通式(1‑3)所示的重复单元中的至少1种；及，(B)掺杂聚合物，该掺杂聚合物包含由下述通式(2)所示的重复单元a，重均分子量为1000～500000的范围；式(1‑1)、(1‑2)、(1‑3)中，X为S、O、Se、Te、或NR5；R1和R2分别独立地表示可具有杂原子的碳数1～20的直链状、支链状或环状的1价烃基、氢原子、羟基、卤素原子中的任一种；此外，R1与R2彼此可以在任意位置键合而形成环；R5表示氢原子、碳数1～10的直链状或支链状饱和或不饱和的烷基、或碳数6～10的经取代或未经取代的芳基；并且，在上述通式(1‑1)中，在X为S、Se、或Te时，或X为NR5且R5表示氢原子时，R1与R2不同时表示氢原子；式(2)中，R3为氢原子或甲基，R4为单键、酯基、或具有醚基及酯基中的任一种或具有它们中的两种的碳数1～12的直链状、支链状、环状烃基中的任一种，Z为亚苯基、亚萘基及酯基中的任一种，a为0＜a≤1.0。