[发明专利]一种掩膜版的张网装置、张网方法有效
| 申请号： | 201610537988.4 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN106086784B | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 孙朴 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜版的张网装置、张网方法，属于显示技术领域，其可解决现有的掩膜版由于拉力不均匀而产生褶皱导致红绿蓝器件混色的问题。本发明的掩膜版的张网装置，采用两对第一夹具分别夹住拉伸所述掩膜版的四角，设于相邻的第一夹具之间的多个第二夹具夹住拉伸所述掩膜版的边缘，这样多个第二夹具实现对掩膜版的精确调整和控制，均匀的拉伸，提升张网能力，使掩膜版不易产生褶皱，降低混色，提高显示良率。本发明的掩膜版的张网装置适用于拉伸各种掩膜版，尤其适用于制备小尺寸显示面板的掩膜版。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜版的张网装置，其特征在于，包括夹具单元，所述夹具单元包括：两对第一夹具，分别用于夹住拉伸所述掩膜版的四角；相邻的所述第一夹具之间设有多个第二夹具，用于夹住拉伸所述掩膜版的边缘；所述张网装置还包括测量单元和调整单元：所述测量单元为光耦合扫描器，所述测量单元用于检测掩膜版的平坦度；并将检测结果反馈调整单元；所述调整单元与所述第一夹具和第二夹具连接，并根据所述测量单元反馈的结果，控制所述第一夹具和第二夹具将所述掩膜版不平坦的位置拉伸至平坦。
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