[发明专利]靶材组件的制造方法有效
| 申请号： | 201610538202.0 | 申请日： | 2016-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN107570826B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;吕荣 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/00 | 分类号： | B23K1/00;B23K1/19;B23K1/20 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高静;吴敏<国际申请>=<国际公布>=< |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供钛靶坯和背板，钛靶坯的待焊接面为第一焊接面，背板的待焊接面为第二焊接面；在第一焊接面上涂覆第一焊料层，第一焊料层的材料为经使用的回收材料；在第一焊料层上涂覆第二焊料层，第二焊料层的材料为未经使用的材料，且第二焊料层和第一焊料层的材料相同；将涂覆有第一焊料层和第二焊料层的第一焊接面与第二焊接面相对设置并贴合，通过焊接工艺将靶坯焊接至背板上，以形成靶材组件。本发明采用的第一焊料层的材料为经使用的回收材料，第二焊料层的材料为未经使用的材料；相比单采用一种焊料层的方案，第一焊料层和第二焊料层相互熔合后可以提高靶坯和背板的焊接结合率。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：/n提供钛靶坯和背板，所述钛靶坯的待焊接面为第一焊接面，所述背板的待焊接面为第二焊接面；/n在所述第一焊接面上涂覆第一焊料层，所述第一焊料层的材料为经使用的回收材料；所述第一焊料层中掺杂有背板材料的成分；/n在所述第一焊料层上涂覆第二焊料层，所述第二焊料层的材料为未经使用的材料，且所述第二焊料层和第一焊料层的主成分相同；/n在所述第二焊接面上涂覆所述第一焊料层；在所述第二焊接面的第一焊料层上涂覆所述第二焊料层；/n将涂覆有所述第一焊料层和第二焊料层的第一焊接面与涂覆有所述第一焊料层和第二焊料层的第二焊接面相对设置并贴合，通过焊接工艺将所述靶坯焊接至所述背板上，以形成靶材组件。/n
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