[发明专利]基板检测方法及基板检测设备在审
申请号: | 201610539051.0 | 申请日: | 2016-07-08 |
公开(公告)号: | CN105954900A | 公开(公告)日: | 2016-09-21 |
发明(设计)人: | 井杨坤;邢化贵 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 李相雨 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种基板检测方法及基板检测设备,该基板检测方法包括:在基板的一侧对所述基板上待检测区域进行光照;在进行所述光照时在所述基板的另一侧对所述待检测区域进行图像抓取;根据所述抓取的图像对所述检测区域进行检测。本发明提供的基板检测方法,通过在对基板进行图像抓取时对基板进行光照,从而可以有效提高所抓取的图像上不同区域的灰阶差异,进而可以提高检测设备的检测能力,减少误检率,提高检测效率。 | ||
搜索关键词: | 检测 方法 设备 | ||
【主权项】:
一种基板检测方法,其特征在于,包括:在基板的一侧对所述基板上待检测区域进行光照;在进行所述光照时在所述基板的另一侧对所述待检测区域进行图像抓取;根据所述抓取的图像对所述检测区域进行检测。
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