[发明专利]图案形成装置及图案形成方法

摘要

本发明涉及图案形成装置及图案形成方法。图案形成装置具有：第一保持单元(61)，对在一面担载有图案形成材料(PT)的橡皮布(BL)以使图案形成材料的担载面朝上的水平姿势进行支撑；第二保持单元(41)，将对图案形成材料进行图案成形的版(PP)或要被转印图案的基板(SB)作为处理对象物，以使处理对象物与第一保持单元(61)保持的橡皮布(BL)的上表面接近相向的方式，保持处理对象物；托起单元(641)，从橡皮布(BL)的下表面侧局部托起橡皮布(BL)中央部的有效区域，使有效区域与被第二保持单元(41)保持的处理对象物抵接，托起单元(641)沿着橡皮布(BL)的下表面移动使橡皮布(BL)的托起位置变化。

主权项

1.一种图案形成装置，其特征在于，具有：第一保持单元，具有多个分别与橡皮布的下表面的局部抵接的辅助保持单元，多个所述辅助保持单元以一面上担载有图案形成材料的所述橡皮布的所述图案形成材料的担载面朝上的方式在下表面侧与所述橡皮布相抵接，从而将所述橡皮布支撑为水平姿势；第二保持单元，将用于对所述图案形成材料进行图案成形的版或者要被转印图案的基板作为处理对象物，以使该处理对象物与被所述第一保持单元保持的所述橡皮布的上表面接近且相向的方式，保持该处理对象物；托起单元，从所述橡皮布的下表面侧局部地托起所述橡皮布中央部的有效区域，来使所述有效区域与被所述第二保持单元保持的所述处理对象物相抵接，而且沿着所述橡皮布的下表面移动来使所述橡皮布的托起位置发生变化；以及升降单元，能够使多个所述辅助保持单元分别单独地升降，多个所述辅助保持单元与所述橡皮布的下表面中的要被所述托起单元托起的区域局部抵接来支撑所述橡皮布。