[发明专利]一种气压量测装置及气压量测方法有效
| 申请号： | 201610541202.6 | 申请日： | 2016-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN107607250B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 陈振颐;王俊杰;张朝森;张咏翔 | 申请（专利权）人： | 美特科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;G01L9/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215131 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开一种气压量测装置，包括第一感测单元与第二感测单元，其中第一感测单元包括半导体层结构、薄膜以及支撑件。半导体层结构具有腔体以连通外部环境。薄膜可移动且可变形地配置于半导体层结构并悬于腔体。支撑件设置于半导体层结构与薄膜之间。静电力适于被提供在半导体层结构与薄膜之间，以驱动薄膜，而使半导体层结构的局部、支撑件与薄膜接触在一起并在腔体内形成密闭空间。薄膜分隔于外部环境与密闭空间之间，且薄膜因外部环境与密闭空间的气压差异而产生变形。另公开一种气压量测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气压 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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