[发明专利]一种宏微结合驱动的阵列式光栅拼接调整装置

摘要

一种宏微结合驱动的阵列式光栅拼接调整装置，属于光栅高精度拼接调整装置技术领域。微动组件一与二相对于YZ面对称设置，微动组件一与二与底座上表面固接，微动组件三和四与底座的回字形槽固接，宏动驱动组件一与二与底座的上表面固接，宏动驱动组件一及二与微动组件一及二固接，宏动驱动组件三及四与底座的两个安装孔固接，宏动驱动组件三及四与微动组件三及四固接，四个过渡连接板与四个微动组件中的过渡框一一对应设置且分别固接，四个过渡连接板与四个光栅一一对应，四个光栅与多个光栅压块固接，多个光栅压块通过多个连接螺钉与对应的过渡连接板可拆卸固定连接。该装置能够实现四块光栅阵列式的拼接，具有很高的刚度、定位精度和总体稳定性。

主权项

一种宏微结合驱动的阵列式光栅拼接调整装置，包括底座(13)、四个微动组件、四个过渡连接板、四个宏动驱动组件、多个光栅压块以及由四个光栅组成的拼接光栅；所述的四个微动组件分别是微动组件一(1)、微动组件二(2)、微动组件三(3)及微动组件四(4)；所述的四个宏动驱动组件结构均相同，分别是宏动驱动组件一(14)、宏动驱动组件二(15)、宏动驱动组件三(16)及宏动驱动组件四(17)；所述的微动组件一(1)与微动组件三(3)结构相同，所述的微动组件二(2)与微动组件四(4)结构相同，微动组件一(1)与微动组件二(2)相对于YZ面对称设置，微动组件一(1)与微动组件二(2)分别通过各自中的两个滚动导轨组件与底座(13)的上表面固接，底座(13)的中部设有回字形槽，所述的回字形槽的槽口朝前设置，所述的微动组件三(3)和微动组件四(4)分别通过各自中的两个滚动导轨组件与底座(13)的回字形槽的下表面(51)固接，微动组件三(3)与微动组件一(1)呈对角线设置，微动组件四(4)与微动组件二(2)呈对角线设置，所述的宏动驱动组件一(14)与宏动驱动组件二(15)分别通过各自中的宏动基座(28)与底座(13)的上表面固接，宏动驱动组件一(14)通过其上的滚珠丝杠螺母柔性连接板(29)与微动组件一(1)固接，所述的宏动驱动组件二(15)通过其上的滚珠丝杠螺母柔性连接板(29)与微动组件二(2)固接，所述的宏动驱动组件三(16)设置在宏动驱动组件一(14)的下方，所述的宏动驱动组件四(17)设置在宏动驱动组件二(15)的下方，底座(13)的回字形槽的槽底面的下部设有两个安装孔，宏动驱动组件三(16)和宏动驱动组件四(17)分别通过各自中的宏动基座(28)与底座(13)的两个安装孔固接，宏动驱动组件三(16)通过其上的滚珠丝杠螺母柔性连接板(29)与微动组件三(3)固接，宏动驱动组件四(17)通过其上的滚珠丝杠螺母柔性连接板(29)与微动组件四(4)固接，所述的四个过渡连接板与四个微动组件中的过渡框(46)一一对应设置且分别固接，每个过渡连接板的前侧均设置有一个光栅，所述的四个光栅分别与多个光栅压块固接，与每个光栅固接的多个光栅压块分别通过多个连接螺钉与对应的过渡连接板可拆卸固定连接。