[发明专利]一种大开路电压纳米异质结太阳能电池及制备方法

摘要

本发明是公开了一种大开路电压纳米异质结太阳能电池及制备方法。其包括衬底层、p‑型半导体纳米线、金电极、钝化层、n‑型半导体薄膜、钛电极。首先将p‑型半导体纳米线转移至衬底层上；然后使用光刻技术和磁控溅射法在p‑型半导体纳米线的一端之上沉积金电极；接着采用光刻技术和原子层沉积法在p‑型半导体纳米线的另一端之上沉积钝化层；再利用原子层沉积法在钝化层之上沉积n‑型半导体薄膜；最后使用磁控溅射法在n‑型半导体薄膜之上沉积钛电极。本发明采用纳米异质结结构，通过材料的选择、结构和工艺的优化实现了开路电压达1V以上的大开路电压太阳能电池。

主权项

一种大开路电压纳米异质结太阳能电池，其特征在于：包括衬底层(1)，所述衬底层(1)之上设有p‑型半导体纳米线(2)，所述p‑型半导体纳米线(2)的一端之上设有金电极(3)，所述p‑型半导体纳米线(2)的另一端之上设有钝化层(4)，所述钝化层(4)之上设有n‑型半导体薄膜(5)，所述n‑型半导体薄膜(5)之上设有钛电极(6)。