[发明专利]一种光学干涉法球径球度检测仪及检测方法

摘要

本发明涉及一种光学干涉法球径球度检测仪及检测方法，它在基于光学干涉原理，通过判读光学样板球(或球碗)与被测零件之间干涉条纹的数量和形状方法检测球径球度技术的基础上，通过轮盘切换的方式，快速变换和准确定位不同球径的基准光学玻璃样板成为当前工作样板，并由CCD摄像机采集干涉条纹，经图像处理及相关软件计算后，由显示器输出被测零件的球径球度值及其简化后的干涉条纹图形。本发明实现了不同球径被测零件方便、直观、快速地检测，极大地提高了检测效率。

主权项

1.一种光学干涉法球径球度检测仪,其特征在于包括:基准光学玻璃样板、切换轮盘、照明系统和成像系统；照明系统为基准光学玻璃样板提供光源；不同的基准光学玻璃样板位于切换轮盘上不同的位置；通过切换轮盘实现不同的基准光学玻璃样板快速切换，准确定位不同球径的基准光学玻璃样板；成像系统对基准光学玻璃样板与被测零件接触之间的球径差产生的干涉条纹图像成像，成像后的图像被传送至主机中图像处理器，图像处理器经图像处理和软件计算得出的被测零件的球径和球度值，由显示器输出被测零件的球径球度值以及简化后的干涉条纹图形。