[发明专利]探针的保持结构有效
| 申请号： | 201610547650.7 | 申请日： | 2016-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN106353541B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 加藤靖典;大西正树 | 申请（专利权）人： | 风琴针株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使不将探针的前端部设为特殊的形状、也能够比以往减小探针的最小间距、并且能够不限定探针的根数地减小探针的最小间距的探针的保持结构。探针用夹具(10)包括保持探针(30)的后端部(30b)的基部(11)。所述基部(11)的贯穿孔(12)包括与所述电极基板(40)相面对的大径部(12a)和与所述大径部(12a)连续的小径部(12b)，在所述大径部(12a)与所述小径部(12b)之间形成有阶梯部(12c)。所述探针(30)包括内置于所述大径部(12a)并形成得比所述小径部(12b)大径的环状的卡定部(33)。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 保持 结构 | ||
【主权项】：
一种探针的保持结构，其特征在于，该探针的保持结构包括探针和保持所述探针的两端部并配置在电极基板与被检查基板之间的探针用夹具，所述探针用夹具包括保持所述探针的后端部并以能够与电极基板接触的方式配置于该电极基板的基部，在所述基部上设有供所述探针贯穿的多个贯穿孔，所述贯穿孔包括与所述电极基板相面对的大径部和与所述大径部连续的小径部，在所述大径部与所述小径部之间形成有阶梯部，所述探针包括内置于所述大径部并形成得比所述小径部大径的环状的卡定部。
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