[发明专利]一种声表面波光干涉扫描探测系统

摘要

本发明提供了一种声表面波光干涉扫描探测系统，包括信号发生器、功率放大器、位移平台、外差探测激光干涉仪、低噪声放大器、示波器和计算机。其中信号发生器产生的激励信号经功率放大器放大后，作用在样品上产生声表面波；外差探测激光干涉仪发出的测量臂激光照射在样品表面返回与参考臂激光相干叠加产生干涉信号，探测到的干涉信号经低噪声放大器放大后在示波器上实时显示出相应的波形；示波器和位移平台与计算机联机，计算机控制扫描路径和提取干涉信号波形的振幅和相位信息。本发明结合了外差激光探测和二维平面扫描，可以实现对微型声表面波器件表面的微小区域进行精确扫描，其分辨精度达到1微米，实现扫描的总区域可达10毫米*10毫米。

主权项

1.一种声表面波光干涉扫描探测系统，包括信号发生器、功率放大器、位移平台、外差探测激光干涉仪、低噪声放大器、示波器和计算机，其特征在于，信号发生器产生的激励信号经功率放大器放大后，作用在位于位移平台上的样品的表面产生声表面波，外差探测激光干涉仪的测量臂激光照射在所述样品表面经反射返回，与参考臂激光相干叠加产生干涉信号，探测到的干涉信号经低噪声放大器放大后在示波器上显示出相应的波形；所述示波器和位移平台分别与计算机连接，通过计算机来控制扫描路径和提取干涉信号波形的振幅与相位信息；所述计算机对信息数据进行处理获得样品的声表面波场分布信息；所述位移平台由两块上下交叠放置的扫描平台构成，所述计算机通过板卡对两块扫描平台进行驱动，实现二维扫描；所述外差探测激光干涉仪包括激光器、三个半波片、三个偏振分光镜、两个反射镜、两个1/4波片、聚焦透镜、光折变晶体和探测器；激光器发出的光经过第一半波片和第一偏振分光镜后分为透射光和反射光，其中透射光依次经过第一反射镜、第二偏振分光镜、第一1/4波片和聚焦透镜入射到样品表面经反射后返回，返回的光束通过第二半波片后与反射光通过第三半波片和第二反射镜后的光束一起入射到光折变晶体上，发生相干叠加产生干涉信号，干涉信号经过第二1/4波片和第三偏振分光镜由光电探测器探测干涉后的光强。