[发明专利]用于激光器的射频电源

摘要

本发明公开了一种用于激光器的射频电源。其中，控制模块输出PWM信号和功率控制信号至前级信号驱动模块，并接收预电离模块的反馈信号且控制预电离模块给激光器输出射频功率信号。前级信号驱动模块根据PWM信号与功率控制信号，输出第一射频信号至前级微带分配电路。前级微带分配电路将第一射频信号输出至功率放大模块。功率放大模块将第一射频信号放大后输出至微带功率合成电路。微带功率合成电路将放大后的第一射频信号输出至射频输出模块。功率信号检测模块从微带功率合成电路的输出拾取信号，并将拾取到的信号输入至控制模块。处理模块输出经探测保护后的同步信号至控制模块。通过本发明实施例解决了如何提高输出激光的速度的技术问题。

主权项

一种用于激光器的射频电源，其特征在于，所述射频电源包括：控制模块，用于输出PWM信号和功率控制信号至前级信号驱动模块，并接收预电离模块的反馈信号且控制所述预电离模块给所述激光器输出射频功率信号，以及读取处理模块处理后的信号频率和占空比；所述前级信号驱动模块，用于根据所述PWM信号与所述功率控制信号，输出第一射频信号至前级微带分配电路；所述前级微带分配电路，用于将所述第一射频信号输出至功率放大模块；所述功率放大模块，用于将所述第一射频信号放大后输出至微带功率合成电路；所述微带功率合成电路，用于将放大后的第一射频信号输出至射频输出模块；功率信号检测模块，用于通过微带耦合的方式从所述微带功率合成电路的输出拾取信号，并将拾取到的信号输入至所述控制模块；所述射频输出模块，用于输出第二射频信号；直流电压输入模块，用于为所述功率放大模块供电；所述预电离模块；处理模块，用于检测外部输入信号的频率和占空比，输出经探测保护后的同周期且同占空比的同步信号至所述控制模块。