[发明专利]一种硅片传输手动机械手有效
| 申请号： | 201610548948.X | 申请日： | 2016-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN106181954B | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 杜婧;胡松;刘俊伯;周毅;邓钦元;邓茜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | B25J1/12 | 分类号： | B25J1/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片传输手动机械手，包括机械手座、升降旋转机构、取放片机构；机械手座为整个机械手的基座；升降旋转机构通过内部特殊结构，实现机械手的升降和旋转运动，其通过机械臂中轴与机械手座连接，机械臂中轴可在机械手座上调节安装高度，并且通过顶丝锁紧；取放片机构固定在机械手升降旋转机构上，其机械臂内部开通长孔，通过调节通气杆可实现机械臂取放片台真空的得失，从而实现硅片的取片与放片；升降旋转机构中的限位筒可对取片与放片的位置进行限位；该发明可与光刻机及硅片预对准台配合使用，具有成本低、操作方便及效率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 传输 手动 机械手 | ||
【主权项】：
一种硅片传输手动机械手，其特征在于：包括机械手座(100)，升降旋转机构(200)和取放片机构(300)，所述机械手座(100)布置在机械手底部，为机械手的基座；所述升降旋转机构(200)布置在机械手座(100)上方，可在机械手座(100)上调节安装高度，由M4顶丝固定，具有升降和旋转两自由度的运动；所述取放片机构(300)安装在升降旋转机构(200)上方，其机械臂(301)内部开通长孔，通过调节通气杆(304)可实现机械臂(301)取放片台真空的得失，从而实现硅片的取片与放片；所述升降旋转机构(200)由中轴(201)、套筒(202)、转轴(203)、弹簧(204)、调节圆片(205)、限位盖(206)、限位筒(207)、M3顶丝(208)组成；所述中轴(201)安装在机械手座(100)上，并可以调节安装高度，由M4顶丝锁紧；所述套筒(202)其内螺纹与中轴外螺纹连接；所述转轴(203)安装在套筒(202)内，其与中轴(201)通过弹簧(204)连接，转轴(203)可以绕套筒(202)中心轴旋转，同时可在套筒(202)内做升降运动，弹簧(204)可对其下降运动进行复位；弹簧(204)与套筒(202)之前安装调节圆片(205)，可对弹簧的硬度进行调整；所述限位盖(206)其内螺纹与套筒(202)外螺纹连接，对中轴(201)的运动起上限位的作用；所述限位筒(207)套在限位盖(206)外侧，由M3顶丝(208)锁紧，其对机械手转动的位置起限位作用。
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