[发明专利]一种具有曝光补正的光罩

摘要

本发明提供一种具有曝光补正的光罩，所述光罩包括遮光区域和被遮光区域包围的曝光区域，所述曝光区域包括补正子区域以及曝光子区域，所述补正子区域设置在所述曝光子区域的锐角顶点周围。本发明通过将补正子区域设置在所述曝光子区域的锐角顶点周围，当光通过补正子区域，发生衍射，与通过锐角照射到光阻上的光相互增强，从而增加锐角顶点周围的曝光强度，从而达到增加曝光能力，经曝光蚀刻后得到想要的图案，进而使得电场分布均匀，提升液晶产品制作质量，进而提升到显示器的显示效果。

主权项

一种具有曝光补正的光罩，包括遮光区域和被遮光区域包围的曝光区域,其特征在于，所述曝光区域包括补正子区域以及曝光子区域，所述补正子区域设置在所述曝光子区域的锐角顶点周围。