[发明专利]主动元件阵列基板

摘要

本发明公开了一种主动元件阵列基板，包含基板、第一主动层、栅极介电层、图案化导电层、层间介电层、第二主动层、至少一导电柱以及至少一蚀刻阻挡层。第一主动层设置于基板的非显示区。栅极介电层至少设置于第一主动层上。图案化导电层包含设置于第一主动层上的第一栅极电极以及位于显示区的第二栅极电极。层间介电层覆盖第一主动层、栅极介电层与图案化导电层且包含连接第一主动层的至少一开口。第二主动层设置于层间介电层之上且位于第二栅极电极上方。导电柱设置于开口内。蚀刻阻挡层至少设置于开口的底部，其中蚀刻阻挡层与第二主动层的材料相同。

主权项

1.一种主动元件阵列基板，具有一显示区与设置于该显示区的至少一侧的一非显示区，包含：一基板；一第一主动层，设置于该基板的该非显示区；一栅极介电层，至少设置于该第一主动层上；一图案化导电层，形成于该栅极介电层上，包含一第一栅极电极以及一第二栅极电极，分别位于该非显示区与该显示区，其中该第一栅极电极设置于该第一主动层上；一第一层间介电层，覆盖该第一主动层、该栅极介电层与该图案化导电层，其中该第一层间介电层包含至少一第一开口，该第一开口的底部连接该第一主动层；一第二主动层，设置于该第一层间介电层之上且位于该第二栅极电极上方；至少一第一导电柱，设置于该第一开口内；至少一第一蚀刻阻挡层，至少设置于该第一开口的底部，其中该第一蚀刻阻挡层与该第二主动层的材料相同，该第一蚀刻阻挡层将该第一导电柱与该第一主动层隔绝开来；一第二层间介电层，设置于该第一层间介电层与该第二主动层之上，其中该第二层间介电层包含至少一开口，该第二层间介电层的该开口的底部连接该第二主动层；以及至少一导电柱，设置于该第二层间介电层的该开口内，其中该导电柱与该第一导电柱的材料相同。