[发明专利]一种高世代平板铜制程光阻剥离液有效
| 申请号： | 201610551574.7 | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN106019863B | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 邵勇;殷福华;栾成;陈林;朱龙;顾玲燕;赵文虎;李英 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高世代平板铜制程光阻剥离液，按质量百分比计包括：5～25%的醇胺、5～30%的醇、0.01～3%的金属抗蚀剂、0.1～1%的有机酸和25～75%的有机溶剂。本发明高世代平板铜制程光阻剥离液组分简单，采用碱性较低的醇胺侵蚀光刻胶，并且向剥离液组分中添加有机酸作为助溶剂，提高有机溶剂体系对光刻胶的剥离和溶解能力，且通过加入抗蚀剂减少剥离液体系对铜和基板的侵蚀，处理后的铜阵列无光刻胶残留；剥离液体系具有低挥发形和低毒性，使用温度下损失小，组分稳定且水溶性好，便于清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 世代 平板 铜制 程光阻 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种高世代平板铜制程光阻剥离液，其特征在于，剥离液按质量百分比计包括：5～25%的醇胺、5～30%的醇、0.01～3%的金属抗蚀剂、0.1～1%的有机酸和25～75%的有机溶剂，醇胺为单乙醇胺、单异丙醇胺、2‑氨基‑2‑甲基‑1‑丙醇、2‑甲氨基乙醇和3‑氨基丙醇胺中的至少一种，金属抗蚀剂由咪唑啉季铵盐和糖醇类抗蚀剂组合而成，金属抗蚀剂中咪唑啉季铵盐的质量百分比为50～80%。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江阴江化微电子材料股份有限公司，未经江阴江化微电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610551574.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种紫苏油组合物、微胶囊粉末及其制备方法
- 下一篇：一种酶解灵芝粉的制备方法
