[发明专利]双通道双波长干涉检测装置有效
| 申请号： | 201610551583.6 | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN106197258B | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 刘世杰;周游;白云波;鲁棋;张志刚;王微微;徐天柱 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种双通道双波长干涉检测装置，该装置包括第一激光光源干涉仪主机、第二激光光源干涉仪主机、转折反射镜、滑动导轨、扩束次镜、准直主镜和标准透射镜。其中第一激光光源干涉仪主机和第二激光光源干涉仪主机到转折反射镜之间的空间光束为第一小口径测量通道，标准透射镜后的光束为第二大口径测量通道。第一激光光源干涉仪主机和第二激光光源干涉仪主机分别可以输出两种不同的激光波长。测量时将待测反射镜置于光路中，本发明装置可以同时提供两种测量通道和测量波长，适合不同口径和对测量波长有特殊要求的光学元件波前畸变的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 双通道 波长 干涉 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种双通道双波长干涉检测装置，其特征在于该装置包括第一激光光源干涉仪主机(1)、第二激光光源干涉仪主机(2)、第一转折反射镜(3)、第二转折反射镜(4)、滑动导轨(5)、扩束次镜(6)、准直主镜(7)和标准透射镜(8)，所述的第二转折反射镜(4)置于所述的滑动导轨(5)上，沿第一激光光源干涉仪主机(1)的激光输出方向依次是所述的第一转折反射镜(3)、扩束次镜(6)、准直主镜(7)和标准透射镜(8)，沿第二激光光源干涉仪主机(2)的激光输出方向依次是所述的第二转折反射镜(4)、扩束次镜(6)、准直主镜(7)和标准透射镜(8)，第一激光光源干涉仪主机和第二激光光源干涉仪主机经相应的转折反射镜输出的空间光束为小口径测量通道，在所述的标准透射镜(8)后的光束为大口径测量通道，将所述的扩束次镜(6)、准直主镜(7)和标准透射镜(8)从光路中移去，将待测反射镜(9)置于光路中，就可以进行小口径测量；所述的第一激光光源干涉仪主机和第二激光光源干涉仪主机分别输出不同的激光波长。
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