[发明专利]透镜可移动的浸入式光刻机在审
| 申请号： | 201610551670.1 | 申请日： | 2016-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN105954978A | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 吕耀安 | 申请（专利权）人： | 无锡宏纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂汉钦 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区清源路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透镜可移动的浸入式光刻机，包括液体槽；所述液体槽之内置有折射率大于1.4的液体；所述液体槽之内放置有光路系统；所述液体槽之外、液体槽的正下方放置有工作台；所述光路系统包括凸透镜；所述凸透镜的射出光路之上放置有光刻掩膜；所述光刻掩膜之后放置有准直装置；所述准直装置的光出射方向放置有第三折射镜；所述第三折射镜的对称方向放置有第四折射镜；所述第三折射镜的光出射方向放置有凹面折射镜；所述凹面折射镜的焦点之处放置有凸面折射镜；所述第四折射镜固定在所述移动装置之上。本发明所述的装置，将光路系统整个浸入折射率为1.4液体中，可以增加光刻精度。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 移动 浸入 光刻 | ||
【主权项】：
一种透镜可移动的浸入式光刻机，其特征在于，包括液体槽(10)；所述液体槽(10)之内置有折射率大于1.4的液体；所述液体槽(10)之内放置有光路系统；所述液体槽(10)之外、液体槽(10)的正下方放置有工作台(11)；所述光路系统包括凸透镜(1)；所述凸透镜(1)的射出光路之上放置有光刻掩膜(2)；所述光刻掩膜(2)之后放置有准直装置(3)；所述准直装置(3)的光出射方向放置有第三折射镜(4)；所述第三折射镜(4)的对称方向放置有第四折射镜(7)；所述第三折射镜(4)的光出射方向放置有凹面折射镜(6)；所述凹面折射镜(6)的焦点之处放置有凸面折射镜(5)；所述第四折射镜(7)固定在所述移动装置(8)之上。
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