[发明专利]通过移动透镜进行光刻的方法在审
| 申请号： | 201610551761.5 | 申请日： | 2016-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN105954979A | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 吕耀安 | 申请（专利权）人： | 无锡宏纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂汉钦 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区清源路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种通过移动透镜进行光刻的方法，具体包括：光刻所用的光垂直向下入射，直至达到第一分光镜；第一分光光路沿水平方向发射，直至其到达第一折射镜；第一分光光路经过第一折射镜折射，沿垂直方向发射，直至其到达准直装置3；第一分光光路到达第三折射镜，被第三折射镜折射，沿水平方向发射，直至其到达凹面折射镜；第一分光光路第二次被凹面折射镜折射后，到达第四折射镜，被第四折射镜折射之后，沿垂直方向打入位于工作台上的晶圆；运行移动装置，依次对晶圆上的每个晶粒进行光刻。使用本发明所述的方法，只移动折射镜，移动路程短，则所需的操作空间减小，有利于减小光刻机的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 移动 透镜 进行 光刻 方法 | ||
【主权项】：
一种通过移动透镜进行光刻的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、光刻所用的光垂直向下入射，直至达到第一分光镜(1)；步骤2、第一分光光路沿水平方向发射，直至其到达第一折射镜(2)；同时第二分光光路沿垂直方向发射，直至其到达第二折射镜(9)；步骤3、第一分光光路经过第一折射镜(2)折射，沿垂直方向发射，直至其到达准直装置3，进行准直过程；同时，第二分光光路经过第二折射镜(9)折射，到达观测目镜(10)被观测者所观测；步骤4、第一分光光路在被准直之后，到达第三折射镜(4)，被第三折射镜(4)折射，沿水平方向发射，直至其到达凹面折射镜(6)；步骤5、第一分光光路被凹面折射镜(6)折射之后，到达凹面折射镜(6)的焦点之处的凸面折射镜(5)，又被折射回凹面折射镜(6)；步骤6、第一分光光路第二次被凹面折射镜(6)折射后，到达第四折射镜(7)，被第四折射镜(7)折射之后，沿垂直方向打入位于工作台上的晶圆；步骤7、运行移动装置(8)，固定在移动装置(8)之上的第四折射镜(7)的随之移动，则第一分光光路的出射位置随之移动，依次对晶圆上的每个晶粒进行光刻。
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