[发明专利]瞬时相位偏移干涉仪有效
| 申请号： | 201610552319.4 | 申请日： | 2016-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN106352789B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 川崎和彦;松浦心平 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种瞬时相位偏移干涉仪，其使用相干距离比从参考面反射的光和从测量面反射的光之间的光路长度差小的光源。分割来自该光源的光束，并且使用能够调整的延迟光路来使第一光束延迟以引起光路长度差，并且将第一光束叠加在与第二光束相同的光轴上，之后产生参考光束和测量光束。在调整期间改变延迟光路的光路长度，分别拍摄多个干涉条纹图像，并且计算各个干涉条纹图像中所获得的干涉条纹的偏压、振幅和相位偏移量至少之一。基于偏压计算结果、振幅计算结果和相位偏移量计算结果来对测量对象的形状进行测量。 | ||
| 搜索关键词： | 瞬时 相位 偏移 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种瞬时相位偏移干涉仪，用于将包括测量光束和作为测量基准的参考光束的被检测光束分割成多个光束或多个区域，使所述参考光束和所述测量光束之间的相位差发生相对偏移，然后产生干涉条纹并同时拍摄相位偏移的多个干涉条纹图像，并且对测量对象的形状进行测量，其中所述测量光束是通过从所述测量对象反射或穿过所述测量对象所获得的光束，所述瞬时相位偏移干涉仪包括：/n光源，其相干距离比从参考面反射的光和从测量面反射的光之间的光路长度差小；/n分束器，其被配置为分割来自所述光源的光束；以及/n延迟光路，其具有能够改变的光路长度，并且被配置为使第一光束延迟以引起光路长度差，其中所述分束器被配置为将所述第一光束叠加在与第二光束相同的光轴上，之后产生所述参考光束和所述测量光束，/n其中，在所述延迟光路的调整期间改变所述延迟光路的光路长度，基于改变的所述延迟光路的光路长度分别拍摄相位偏移的多个干涉条纹图像，并且计算各个干涉条纹图像中所获得的干涉条纹的偏压、振幅和相位偏移量至少之一，以及/n在测量期间，基于干涉条纹的偏压计算结果、振幅计算结果和相位偏移量计算结果至少之一来测量所述测量对象的形状。/n
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