[发明专利]透镜可移动的光刻机在审
| 申请号： | 201610552553.7 | 申请日： | 2016-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN105929641A | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 吕耀安 | 申请（专利权）人： | 无锡宏纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂汉钦 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区清源路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透镜可移动的光刻机，包括成45°角放置的第一分光镜；所述第一分光镜的水平光出射方向放置有与所述第一分光镜垂直的第一折射镜；所述第一分光镜的垂直光出射方向放置有与所述第一分光镜平行的第二折射镜，所述第二折射镜的光出射方向放置有观测目镜；所述第一折射镜的光出射方向放置有准直装置；所述准直装置的光出射方向放置有第三折射镜；所述第三折射镜的对称方向放置有第四折射镜；所述第三折射镜的光出射方向放置有凹面折射镜；所述凹面折射镜的焦点之处放置有凸面折射镜；所述第四折射镜固定在所述移动装置之上。使用本发明所述的装置，只移动折射镜，移动路程短，则所需的操作空间减小，有利于减小光刻机的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 移动 光刻 | ||
【主权项】：
一种透镜可移动的光刻机，其特征在于，包括成45°角放置的第一分光镜(1)；所述第一分光镜(1)的水平光出射方向放置有与所述第一分光镜(1)垂直的第一折射镜(2)；所述第一分光镜(2)的垂直光出射方向放置有与所述第一分光镜(2)平行的第二折射镜(9)，所述第二折射镜(9)的光出射方向放置有观测目镜(10)；所述第一折射镜(2)的光出射方向放置有准直装置(3)；所述准直装置(3)的光出射方向放置有第三折射镜(4)；所述第三折射镜(4)的对称方向放置有第四折射镜(7)；所述第三折射镜(4)的光出射方向放置有凹面折射镜(6)；所述凹面折射镜(6)的焦点之处放置有凸面折射镜(5)；所述第四折射镜(7)固定在所述移动装置(8)之上。
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