[发明专利]电子级砷化氢、磷化氢及其混合物气体钢瓶的钝化处理工艺

摘要

本发明涉及一种超高纯砷化氢、磷化氢及其混合物气体钢瓶的钝化处理工艺。包括以下步骤：将待钝化处理的第一钢瓶进行100‑200℃高温加热烘烤；通过抽风机对第一钢瓶进行抽真空处理，并持续对第一钢瓶进行100‑200℃高温加热烘烤处理，当第一钢瓶抽至真空状态时，吹扫置换；通过抽风机再对第一钢瓶进行抽真空处理，并持续对第一钢瓶进行100‑200℃高温加热烘烤处理，当第一钢瓶抽至真空状态时，内壁钝化；通过气体回抽装置对第一钢瓶进行抽真空处理，并将抽取的砷化氢、磷化氢气体回收至回收气体钢瓶。

主权项

1.一种电子级砷化氢、磷化氢及其混合物气体钢瓶的钝化处理工艺，其特征在于，包括以下步骤：1)将待钝化处理的第一钢瓶进行100‑200℃高温加热烘烤；2)通过抽风机对第一钢瓶进行抽真空处理，并持续保持其温度在100‑200℃的烘烤状态；3)吹扫置换：当第一钢瓶抽至真空状态时，通过置换气体钢瓶向其充入氮气或者氢气或者惰性气体，并持续对第一钢瓶进行100‑200℃高温加热烘烤处理；4)通过抽风机再对第一钢瓶进行抽真空处理，并持续对第一钢瓶进行100‑200℃高温加热烘烤处理，该步骤的整个过程控制抽风机的抽气管道温度与第一钢瓶温度相一致；5)内壁钝化：向第一钢瓶内充入砷化氢、磷化氢气体，并持续对第一钢瓶进行10‑48小时的高温加热烘烤，加热烘烤为100‑200℃；6)通过气体回抽装置对第一钢瓶进行抽真空处理，并将抽取的砷化氢、磷化氢气体回收至经过冷冻处理的回收气体钢瓶。