[发明专利]液晶面板蚀刻机在审
申请号: | 201610554839.9 | 申请日: | 2016-07-15 |
公开(公告)号: | CN106094277A | 公开(公告)日: | 2016-11-09 |
发明(设计)人: | 袁树明;韦建晶 | 申请(专利权)人: | 苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215021 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及液晶面板蚀刻机,包括蚀刻区、储液区、循环泵、输送管、喷头、流量计、温度计、液位计、支撑模块、蚀刻架,实际使用时,先将蚀刻液按比例调好后泵入储液区,再启动循环泵,推入载有工件的蚀刻架,即可开始液晶面板的蚀刻工序,待蚀刻完成后,关闭循环泵,输送管中的蚀刻液在重力作用下即倒流回储液区。当储液区的蚀刻液不够时,由于流量计底端与储液区旁路相通,可以直观地看到储液区内的蚀刻液容量,以便随时泵入蚀刻液,减少了因蚀刻液过少引起的停车事故。 | ||
搜索关键词: | 液晶面板 蚀刻 | ||
【主权项】:
液晶面板蚀刻机,包括蚀刻区、储液区、循环泵、输送管、喷头、流量计、温度计、液位计、支撑模块、蚀刻架,其特征在于蚀刻区下方设置储液区,循环泵设置在储液区旁,液位计底端与储液区旁路相通,温度计设置在液位计旁,输送管连接在循环泵的输出端,并朝上延伸至蚀刻区顶部,输送管中部设置有流量计,喷头为多个,多个喷头设置在蚀刻区顶部的输送管上,喷头出液端朝下,蚀刻区的侧壁上设置有支撑模块,蚀刻架设置在蚀刻区内的喷头下方。
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