[发明专利]蚀刻机专用喷头在审
| 申请号： | 201610554840.1 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN106094278A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 袁树明;韦建晶 | 申请（专利权）人： | 苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及蚀刻机专用喷头，包括入口端、连接外端、导流芯、密封圈、出口端，出口端与连接外端之间通过螺纹连接，出口端外侧的防护翼与出口端中部齐平。密封圈厚度大于出口端前部的台阶高度，实际使用时，将导流芯放置在出口端内，再将密封圈放置在出口端前部的台阶状端面上，然后将出口端朝向连接外端尾部插入，旋紧即可。蚀刻液经入口端流入后，经导流芯导流后从出口端喷出，由于出口端外径外侧设置有防护翼，因此蚀刻液经出口端喷出后，外溢的水珠不会倒流至入口端。而且出口端中空，内径前大后小，蚀刻液在系统的压力下分呈散射状均匀喷出。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 专用 喷头 | ||
【主权项】：
蚀刻机专用喷头，包括入口端、连接外端、导流芯、密封圈、出口端，其特征在于入口端与连接外端为一体式设计，入口端为中空的台阶状，出口端中空，其内径为前大后小，出口端前部设置有台阶状端面，出口端外径外侧设置有防护翼，出口端套接在连接外端内，出口端与连接外端的连接处设置有密封圈，出口端与连接外端的连接处设置有导流芯，导流芯尾部外径与出口端内径相等。
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