[发明专利]一种基于粘弹性材料的主动柔顺研抛装置与方法

摘要

本发明涉及一种基于粘弹性材料的主动柔顺研抛装置与方法，主要解决抛光过程中去除量不均匀、抛光头定位不精确、抛光工具形状和工件表面的不匹配以及工件因振动产生的误差等问题；本发明装置由超声发生部分、激光位移传感器检测部分、粘弹性材料抛光部分以及工作台等几个部分组成；本发明针对光学自由曲面进行加工，对较复杂曲面的零件表面，无需经常调整刀具位置，通过调整施力频率，改变粘弹性抛光头的形态，使粘弹性研抛头在加工过程中与工件表面一直保持无缝隙贴合的状态，从而实现对工件的主动柔顺研抛。

主权项

本发明包括一种基于粘弹性材料的主动柔顺研抛装置，主要包括超声发生器、超声波振动系统4、超高速/高精度激光位移传感器、XYZ三方向的气动导轨、工作台等；整个装置螺纹连接在大理石板7上，以保证研抛时装置的稳定加工；电机5和X、Y气浮导轨8、9共同控制工件的位姿、位置，Z向气浮导轨1螺纹连接在支撑梁3上，主轴13随滑块2移动实现纵向往复进给，超声波振动系统4垂直安装在主轴13下方。