[发明专利]脆性材料基板中倾斜裂纹的形成方法和基板断开方法

摘要

本发明提供脆性材料基板中倾斜裂纹的形成方法和基板断开方法。在脆性材料基板中形成倾斜裂纹的方法包括：槽线形成工序，使具有包含棱线的刀尖的划线工具在脆性材料基板的一个主面上滑动或者滚动而形成槽线，其中，槽线是线状的槽部；以及裂纹形成工序，在槽线的正下方产生裂纹，在槽线形成工序中，在使金刚石刻刀于水平面内从槽线的形成前进方向按规定的倾斜角倾斜的状态下，以于槽线的正下方维持无裂纹状态的方式形成槽线，在上述裂纹形成工序中，使作为相对于脆性材料基板的主面倾斜的裂纹的倾斜裂纹从槽线扩展。

主权项

1.一种脆性材料基板中倾斜裂纹的形成方法，用于在脆性材料基板中形成倾斜裂纹，其特征在于，包括：槽线形成工序，通过使具有包含棱线的刀尖的划线工具沿着所述脆性材料基板的一个主面的预定的断开位置滑动或者滚动，从而形成槽线，所述槽线是线状的槽部；以及裂纹形成工序，使所述槽线的正下方产生裂纹，所述槽线形成工序中，在使所述划线工具的所述棱线于水平面内从规定方向按规定的倾斜角倾斜的状态下，以于所述槽线的正下方维持无裂纹状态的方式形成所述槽线，所述裂纹形成工序中，使倾斜裂纹从所述槽线扩展，所述倾斜裂纹是相对于所述脆性材料基板的主面倾斜的裂纹，所述倾斜角是包括划线工具的所述刀尖的所述棱线的竖直面与水平面的正交轴的延伸方向和所述刀尖的移动方向所成的角。