[发明专利]激光剥蚀进样系统有效
| 申请号： | 201610556685.7 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN105954089B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 文明;何康昊;宋江锋;姚勇;杨雷;邓立;李佩龙 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | G01N1/44 | 分类号： | G01N1/44;G01N35/10;G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 金相允 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光剥蚀进样系统，包括从始端至末端依次设置在主管路中的第一通断阀、缓冲罐和第四通断阀；还包括从始端至末端依次设置在第一支管路中的外腔室和第二通断阀；还包括从始端至末端依次设置在第二支管路中的样品室和第三通断阀；样品室位于外腔室内；样品室上开设有相对的进样口和出样口；还包括设置在外腔室内的送样装置，送样装置包括通过进样口和出样口可滑动地贯穿样品室的样品托条，以及与样品托条连接并用于带动样品托条在进样口和出样口所处直线上滑动的驱动装置。本发明实现了样品的自动更换，无需频繁开启样品室，从而避免了因频繁开启样品室对激光剥蚀进样系统中的气路造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 剥蚀 系统 | ||
【主权项】：
1.激光剥蚀进样系统，其特征在于：包括具备始端和末端的主管路、第一支管路和第二支管路；所述第一支管路的始端与所述主管路的末端连接，所述第二支管路的始端与所述主管路的末端连接；所述激光剥蚀进样系统还包括从始端至末端依次设置在所述主管路中的第一通断阀、缓冲罐和第四通断阀；所述激光剥蚀进样系统还包括从始端至末端依次设置在所述第一支管路中的外腔室和第二通断阀；所述激光剥蚀进样系统还包括从始端至末端依次设置在所述第二支管路中的样品室和第三通断阀；所述样品室位于所述外腔室内；所述样品室上开设有相对的进样口和出样口；所述激光剥蚀进样系统还包括设置在所述外腔室内的送样装置，所述送样装置包括通过所述进样口和所述出样口可滑动地贯穿所述样品室的样品托条，以及与所述样品托条连接并用于带动所述样品托条在所述进样口和所述出样口所处直线上滑动的驱动装置；所述激光剥蚀进样系统还包括第一压力计、第二压力计和第三压力计；所述第一压力计设置于所述主管路中，且位于所述第一通断阀与所述缓冲罐之间；所述第二压力计设置于所述第一支管路中，且位于所述外腔室与所述第二通断阀之间；所述第三压力计设置于所述第二支管路中，且位于所述样品室与所述第三通断阀之间；所述激光剥蚀进样系统还包括流量计，所述流量计设置于所述第二支管路中，所述流量计位于所述第二支管路的始端与所述样品室之间。
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