[发明专利]功率器件及其制备方法

摘要

本公开提供功率器件及其制备方法。功率器件包括：第一器件，具有多个第一源区和多个第一沟槽，多个第一沟槽把多个第一源区彼此电学隔离；至少一个第二器件，具有多个第二源区和多个第二沟槽，多个第二沟槽把多个第二源区彼此电学隔离，并且第二器件内嵌在第一器件中，第二源区与第一源区被电学隔离；其中，第二器件的第二沟槽与第一器件的相应的第一沟槽相连通，并且第二器件的多个第二源区以相邻两个第二源区相隔至少一个第一器件的第一源区的方式被分散排布。根据本公开的功率器件及其制备方法，第二器件可以在第一器件内扩展分布，能够更容易地定位和在相对较全区域获取传感电流，从而能够反映更大范围内芯片的状态变化。

主权项

1.一种功率器件，包括：第一器件，所述第一器件具有多个第一源区，并具有多个第一沟槽，其中，所述多个第一沟槽把所述多个第一源区彼此电学隔离；至少一个第二器件，所述第二器件具有多个第二源区并具有多个第二沟槽，所述多个第二沟槽把所述多个第二源区彼此电学隔离，并且所述第二器件内嵌在所述第一器件中，并且所述第二源区与所述第一源区被电学隔离；其中，所述第二器件的所述第二沟槽与所述第一器件的相应的第一沟槽相连通，并且其中，所述第二器件的所述多个第二源区以相邻两个第二源区相隔至少一个所述第一器件的所述第一源区的方式被分散排布。